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中唯精工在研发等离子纳米抛光过程中发现,从帕邢定律可以看出影响击穿电压的主要因素如下:
(1)气体压力和放电间距——根据帕邢定律,其他条件不变时p和l对击穿电压的变化起着决定性的作用。
(2)气体的种类和成分——帕邢公式中的γ、A、B都与气体本身的性质有关,所以气体的种类和成分会影响击穿电压。
(3)电场分布——电场分布会影响和γ以及电子与正离子的运动速度和轨迹。
(4)电极的材料和表面状态——电极的材料和表面状态影响γ电离过程的二次电子发射,电极的表面结构还影响电场分布。
(5)外界电离源的影响——显然外界电离源的存在也会对击穿电压产生影响。
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